フロン工業株式会社

●溶接レスのスーパーPFAロトモールド成形容器を使用。
●タンク下部にレヴィトロニクス®社製の
　ベアリングレスポンプを一体装着することで、クリーンで安定
　したミキシングが可能となりました。
　薬液やスラリー液の混合供給に最適です。

①薬液供給と撹拌の IN - LINE 化を実現

スーパーPFAタンクの特長である内面平滑性に
　LEVITRONIX 社製のPTMポンプを一体化させることで
　スムーズな撹拌を実現しました。

②省スペース化
　ポンプを一体化しフットスペースをよりコンパクトに
　することで、装置の省スペース化を実現します。

③メンテナンス性
　撹拌機などのオーバーホールなどのメンテナンスが
　必要ありません。

④デバイスの歩留まりを向上
　CMPプロセスにおいてベローズポンプと比べ、
　スクラッチの発生を1/200〜1/1000に
　低減デバイスの歩留まりを向上させます。

⑤フィルタ寿命が最大15倍
　ゴミやゲル状物質の発生量を削減することで目詰まりを解消。
　フィルタの寿命を最大15倍に延ばします。

⑥密閉性
　撹拌機を挿入する必要がないので、密閉性を確保できます。

⑦コンタミレス
　リニアモーターカー式に浮遊するインペラが非接触で回転し、
　液送されるので、コンタミが出ません。

※薬液供給装置やスラリー供給装置にて使用される
　Mixing Tank は、高い耐圧性能は必要ではないため、
　外装は簡易タイプを採用し、秤量に多用されるロードセルを
　使用可能にするため、タンク側面にLUGを設置しました。